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電子半導(dǎo)體噴涂廢氣的處理流程是什么

時(shí)間 : 2021-10-22 11:12:11 閱讀 : 298

電子半導(dǎo)體生產(chǎn)車(chē)間的噴涂過(guò)程會(huì)產(chǎn)生廢氣，也稱(chēng)為電子噴涂廢氣。噴涂廢氣主要由甲苯、二甲苯和其他有機(jī)廢氣組成。噴涂廢氣揮發(fā)后形成揮發(fā)性有機(jī)化合物，產(chǎn)生光化學(xué)反應(yīng)形成煙霧，破壞臭氧層，對(duì)人體和大氣造成危害。因此，電子噴霧廢氣處理是環(huán)境評(píng)價(jià)要求的重點(diǎn)，也是電子半導(dǎo)體企業(yè)必須達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)的廢氣處理要求。　　噴涂廢氣治理方法　　為了有效處理噴霧廢氣，采用了各種物理、化學(xué)和生物處理方法對(duì)其進(jìn)行處理。目前，根據(jù)不同的廢氣處理形式。處置技術(shù)可分為銷(xiāo)毀法和回收法。銷(xiāo)毀方法是指將有機(jī)廢氣完全轉(zhuǎn)化為對(duì)環(huán)境無(wú)害的物質(zhì)，如CO2和H2O。大多數(shù)常見(jiàn)方法是燃燒法和生物法?；厥辗椒ㄊ侵竿ㄟ^(guò)改變環(huán)境條件或采用一定的分離方法來(lái)分離有機(jī)廢氣。有機(jī)廢氣z終“變得有價(jià)值”。經(jīng)過(guò)處理后，它作為溶劑再次進(jìn)入噴涂系統(tǒng)，以便重新使用。常用的處理方法描述如下。　　
2.1燃燒法燃燒法是指在某些催化劑或其他條件下，通過(guò)一系列化學(xué)變化，將廢氣中的可燃物質(zhì)分解成對(duì)環(huán)境無(wú)害或可回收的物質(zhì)。這種方法操作簡(jiǎn)單。常用用于處理高濃度廢氣。燃燒廢氣中的大多數(shù)物質(zhì)可以高效處理，但這種方法通常需要使用某種催化劑。催化劑中毒經(jīng)常發(fā)生。　　
2.2生物法生物凈化方法通常使用微生物降解有機(jī)廢物并使其成為對(duì)環(huán)境無(wú)害的物質(zhì)。這種方法是借用微生物處理污水。只要條件合適，無(wú)處不在的微生物幾乎可以分解所有的有機(jī)和無(wú)機(jī)物質(zhì)，因此生物凈化方法被廣泛應(yīng)用于污染物的處理。然而，由于微生物代謝緩慢和環(huán)境條件惡劣，處理過(guò)程耗時(shí)太長(zhǎng)，成本相對(duì)較高。　　
2.3吸附法吸附方法包括化學(xué)吸附法和物理吸附法?；瘜W(xué)吸附法(Chemical adsorption method)是指吸附劑通過(guò)化學(xué)鍵與被吸附物質(zhì)結(jié)合連接，從而通過(guò)吸附劑吸附污染物中的一部分人體物質(zhì)。物理吸附法是指吸附劑和被吸附物質(zhì)通過(guò)分子間力的結(jié)合。雙方的財(cái)產(chǎn)沒(méi)有改變。在這個(gè)過(guò)程中沒(méi)有化學(xué)反應(yīng)。在揮發(fā)性有機(jī)化合物的處理中，吸附是應(yīng)用z廣泛的處理技術(shù)。大多數(shù)常見(jiàn)吸附劑是活性炭。然而，在工廠目前使用的活性炭吸附工藝中，沒(méi)有回收工藝。活性炭不能回收。因此，工藝成本相對(duì)較高。它不符合連續(xù)發(fā)展的概念。本文綜合了傳統(tǒng)有機(jī)廢氣處理方法的優(yōu)缺點(diǎn)，綜合比較了分析幾種經(jīng)典處理方法的優(yōu)缺點(diǎn)。另外，根據(jù)某電子公司的設(shè)備、生產(chǎn)條件和工藝，結(jié)合噴涂過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣濃度低、風(fēng)量大的特點(diǎn)，科學(xué)合理地設(shè)計(jì)了一套綜合治理工程:吸附處理、解吸、再生、燃燒和釋放。通過(guò)圖1所示的工藝流程圖對(duì)　　　　
3噴涂廢氣治理工程　　　　
3.1治理工程概述

由于電子產(chǎn)品噴涂過(guò)程結(jié)束后產(chǎn)生的有機(jī)廢氣與細(xì)顆粒和一部分漆霧混合，如果這些細(xì)顆粒和漆霧與有機(jī)廢氣一起進(jìn)入活性炭吸附室，有機(jī)廢氣降低活性炭吸附的活性部位和降低的吸附效率將大大提高，因此廢氣進(jìn)入吸附室之前，需要進(jìn)入霧化洗滌塔。通過(guò)洗滌，細(xì)顆粒和油霧將被去除。因此，噴射廢氣需要經(jīng)過(guò)圖1中的處理過(guò)程。

　　
3.2治理工程工藝介紹噴涂過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣進(jìn)行綜合處理。具體而言，噴射的廢物先通過(guò)霧化洗滌塔。霧化洗滌塔由多層多孔纖維層組成，并且從層開(kāi)始，每單位面積每層中的孔數(shù)量變大。當(dāng)廢氣通過(guò)洗滌器時(shí)，廢氣中的細(xì)顆粒、漆霧和少量有機(jī)物不斷與微孔碰撞并結(jié)合，細(xì)顆粒不斷細(xì)化并逐層連續(xù)附著，z終全部結(jié)合。

噴涂廢氣處理工藝和方法的選擇，應(yīng)結(jié)合電子半導(dǎo)體企業(yè)的實(shí)際生產(chǎn)需要，制定切實(shí)可行的噴涂廢氣處理方案。電子半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的廢氣處理方法也在不斷更新，實(shí)現(xiàn)噴射廢氣處理零排放的進(jìn)程也將在未來(lái)得到推進(jìn)。

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